真空設備 関連企業情報
1 半導体、液晶製造装置(エッチング、アッシング装置)の処理チャンバー、搬送及び筐体を含む全体的な設計を致します。 2 装置に関わる、真空設備、高周波、供給ガス等の選定及びユニットの設計を致します。 3 ご要望に応じた装置設計を致します。 4 装置に使用されている消耗部品(電極、テフロン、石英等)の設計製作を致します。 5 既存装置の修理、オーバーホール、移設作業等も可能です。(装置の下見、移設、立ち上げ性能確認迄)

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